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중국, 12인치 2차원 반도체 웨이퍼 대규모 생산기술 확보
  • 등록일2023.08.07
  • 조회수343
□ 2차원 반도체 웨이퍼 사이즈는 2인치에서 12인치로 확장 실현(7.11)
○ 숭산호(松山湖)재료실험실 류카이후이(劉開輝) 연구팀은 12인치 2차원 전이금속 황화물(TMDCs) 웨이퍼 제조 기술 개발에 성공
- 2차원 이전금속 황화물은 유망한 2차원  반도체 소재 중 하나로 초고속 응답 속도, 운반 이동성 등 장점을 보유
- 현재 화학기상증착법(CVD)로 제조된 2차원 반도체 웨이퍼의 크기는 주로 2~4인치이며, 생산효율이 떨어져 2차원 반도체 기초연구와 산업화제조 방면에서 수요와의 격차가 존재 
- 연구팀은 모듈형 로컬 영역 원소 공급 성장 기술을 개발하여 2~12인치 전이금속 황화물 웨이퍼 제조기술을 확보
- 향후 2차원 반도체 웨이퍼의 대규모 생산을 위한 새로운 기술 솔루션을 제공하여 고성능 전자학과 광·전자 기술 산업화를 추진할 전망
 
 
<참고자료>
我国突破12英寸二维半导体晶圆批量制备技术